应我校邀请,中国地质大学(武汉)李敏教授将为我校作线上学术报告。现将具体事宜预告如下:
报告题目:光刻机超精密运动台多变量控制研究
主讲人:李敏
时间:2023年10月28日(周六)16:50-17:15
地点:皇冠最新官网crown官网-(中国)官方网站学术报告厅(文津楼二楼)
主办单位:电气工程学院
欢迎全校师生参加。
主讲人介绍
李敏,中国地质大学(武汉)教授,博士生导师,湖北省“楚天学者”计划楚天学子,主要研究方向为精密动力学系统与控制、IC制造装备精密机电系统。主持国家自然科学基金2项,其他省部级项目6项;参与国家02重大专项课题“光刻机双扫描硅片台掩模台样机研发与集成”、“磁悬浮工件台关键技术研究”等。发表学术论文40余篇,其中IEEE T-MECH、IEEE T-IE等国际顶级期刊第一作者论文10篇;授权发明专利4项;研究成果已成功应用于国内自主研发的光刻机。受邀国际会议邀请,多次作大会报告;担任IEEE T-MECH、MSSP等期刊审稿人。